新型的 Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器 是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的*新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)*末端，用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過(guò)程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級(jí)別下 1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器亮點(diǎn)

• 對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)
• 低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度 (<1 ppb)
• 多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念
• 維護(hù)要求低
• 信號(hào)燈式的狀態(tài)指示
• 可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn)
• Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
• 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
• (UHP) 超純氣體的管線檢測(cè)

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器技術(shù)指標(biāo)

響應(yīng)速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間 濕度量程 1 ppb to 20,000 ppm 壓力范圍 0 to 10 bar 耐壓等級(jí) 300 bar 泄漏測(cè)試 0-9 mbar l/s 工作流量范圍 1 ~ 10 l/min 工作溫度 5 ~ 40°C 存儲(chǔ)溫度 30 ~ 70°C 電源 20 ~ 28 V DC 功耗 5 W *大 外部保險(xiǎn)絲等級(jí) 500 mA 快熔型 數(shù)據(jù)輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485 警告和報(bào)警輸出 2 路 *大電壓 40 V DC *大電流 100 mA 氣體接觸的材質(zhì) 外殼材質(zhì) 不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra 傳感器結(jié)構(gòu) 氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層 內(nèi)部容積 4.4cm3 重量 450g 氣路接口 1/4" m VCR 電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口 電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2